Handbook of Thin Film Deposition
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저자
Krishna Seshan
출판사
CRC Press
발행일
2002-02-01   
ISBN
9780815514428
언어
영어
페이지수
430 쪽
사이즈
152*228 mm
무게
1140 gr
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The Handbook of Thin Film Deposition Techniques: Principles, Methods, Equipment and Applications, Second Edition explores the technology behind the spectacular growth in the silicon semiconductor industry and the continued trend in miniaturization over the last 20 years. This growth has been fueled in large part by improved thin film deposition techniques and the development of highly specialized equipment to enable this deposition.

This second edition explains the growth of sophisticated, automatic tools capable of measuring thickness and spacing of submicron dimensions. The book covers PVD, laser and E-beam assisted deposition, MBE, and ion beam methods to bring together all of the physical vapor deposition techniques. The book also includes coverage of chemical mechanical polishing that helps attain the flatness that is required by modern lithography methods and new materials used for interconnect dielectric materials, specifically organic polyimide materials.

저자소개

Linda S. Levstik is Professor in the Department of Curriculum and Instruction at the University of Kentucky. Her research on children’s and adolescents’ historical thinking in the United States, New Zealand, and Ghana appears in a number of journals, including Theory and Research in Social Education, Teachers College Record, The American Educational Research Journal, and The International Review of History Education as well as books. She is co-author with Keith C. Barton of Doing History: Investigating with Children in Elementary and Middle Schools 3rd Edition (Erlbaum, 2005) and Teaching History for the Common Good (Erlbaum, 2004). Prior to earning a Ph.D. from The Ohio State University she taught in public and private elementary and middle schools.

Cynthia A. Tyson, Ph.D. is an Associate Professor in the School of Teaching and Learning at The Ohio State University and a former elementary school teacher. Her research interests focus on the development of cultural competence and socio political consciousness in early childhood social studies education, and the use of children's literature in civic education. The historical and political underpinnings of race and ethnicity are also at the core of her teaching and research agendas. She has worked as an educational consultant (social studies and literacy) within the state of Ohio extensively and has begun collaborative research initiatives both nationally and internationally exploring frameworks for teaching for social justice. She has presented numerous papers at national meetings and conferences including NCSS and the affiliate College University Faculty Assembly (CUFA). Dr.Tyson has served as Chair of CUFA, served on the Carter G. Woodson Committee and is currently the chair of the recently formed NCSS Social Justice Community. She has participated in a special series of presentations at NCSS entitled, Theory to Practice: Teaching in Urban Schools, published articles in Theory and Research in Social Education, Social Education, Social Studies and the Young Learner, Educational Researcher, other books and journals.

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